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固體絕緣介質內部比較常見內部放電。在生產加工絕緣介質時難免存在材料與工藝缺陷的問題，導致絕緣介質內部出現(xiàn)內部缺陷，比如摻人少量的空氣或者雜質等。

一旦絕緣受到高壓作用，內部缺陷就有發(fā)生局部擊穿或者重復性擊穿的可能。

通常介質自身的特性、氣隙大小、缺陷的位置與形狀、氣隙氣體的種類等會對內部放電的發(fā)生條件產生影響。